Вакуумно-термическое испарение. Типы и конструкции испарителей
Методы получения пленок. Вакуумные. Вакуумно-термическое испа-рение. Его разновидности: лазерное, электронно-лучевое, "взрывное". Осо-бенности испарения сплавов и композиционных смесей. Типы и конструкции испарителей. Плазменные методы получения пленок.
03.01.2009 |
Технология изделий электронно-оптической техники |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 68
