Лабораторная работа "УФ микролитография"

Разработка электронного учебно-методического комплекса по использованию различных методов фотолитографии для производства широкого спектра электронных приборов. Расчет значения погрешности ухода размеров элементов схем при применении приемов литографии.

13.05.2011 | Увлекательное | Педагогика | Язык: русский | Просмотры: 172