Вакуумно-плазменные процессы и технологии

Понятие плазмы как среды, содержащей кроме нейтральных частиц заряженные (обоих знаков) и отвечающей условию квазинейтральности. Температура частиц, причины неравновесности, условия существования. Роль плазменных процессов в технологии микроэлектроники.

02.10.2013 | Основы радиоэлектроники | Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника | Язык: русский | Просмотры: 48