Диффузия из неограниченного источника. Построение профиля распределения примеси при изготовлении p-n перехода диффузией из постоянного источника. Коэффициент диффузии при температуре загонки. Концентрация исходной примеси и на поверхности пластины.
13.06.2013 |
Нано- и микротехнологии |
Химия |
Язык: русский |
Просмотры: 41