Исследование возможности получения пленок кобальта методом CVD
Исследование влияния параметров метода химического осаждения на структуру, толщину, морфологию поверхности и эксплуатационные характеристики тонких пленок кобальта из металлоорганического соединения с заданными магнитными и электрическими свойствами.
09.07.2014 |
Химия |
Химия |
Язык: русский |
Просмотры: 117
