Проектирование КМОП-КНС-ИМ с поликремниевыми затворами
Разработка технологического процесса изготовления КМОП-КНС-ИМ с поликремниевыми затворами. Основные факторы, ограничивающие стоимость и качество КМОП-КНС-ИМ. Процесс наращивания поликристаллического кремния. Термическое оксидирование и фотолитография.
08.04.2016 |
Технологические процессы микроэлектроники |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 53
