Вакуумные установки

Усовершенствование блока управления и конструкции реактора установки вакуумного напыления

Методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок. Экономическое обоснование проекта.

01.03.2008 | Вакуумные установки | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 133