Технология и оборудование вакуумного напыления

Реализация метода магнетронного распыления в установке ВУП-5

Принцип действия магнетронного источника распыления. Техническое устройство и система магнетронного напыления тонких проводящих пленок "МАГ-2000". Инструкция по работе с магнетронной системой "МАГ-2000". Замена и тип мишеней в системе напыления.

22.03.2012 | Технология и оборудование вакуумного напыления | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 88