Технология производства диэлектрических пленок

Защитные диэлектрические пленки в планарной технологии

Требования, предъявляемые к защитным диэлектрическим пленкам. Кинетика термического окисления кремния: в сухом и влажном кислороде, в парах воды. Особенности методов осаждения оксидных пленок кремния. Оценка толщины и пористости осаждаемых пленок.

24.09.2009 | Технология производства диэлектрических пленок | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 48