Термическое вакуумное напыление. Плазмоионное распыление в несамостоятельном газовом разряде. Технология тонких пленок на ориентирующих подложках. Механизмы эпитаксиального роста тонких пленок. Электронно-лучевое напыление. Молекулярно-лучевая эпитаксия.
03.03.2011 |
Основы физики твёрдого тела и микроэлектроники |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 171
