Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.
26.08.2013 |
Типографское дело |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 35
