Методи одержання тонкоплівкових матеріалів

Процес нанесення тонких плівок в вакуумі. Метод термічного випаровування. Процес одержання плівок. Способи нанесення тонких плівок. Використання методу іонного розпилення. Будова та принцип роботи ВУП-5М. Основні види випарників та їх застосування.

01.07.2015 | Виробництво | Производство и технологии | Язык: украинский | Просмотры: 67