Оборудование для термического окисления: модель Дила-Гроува, зависимость толщины окисла от времени окисления, особенности роста тонких и толстых плёнок двуокиси кремния, их свойства и применение в микроэлектронике. Реакторы биполярного окисления.
10.06.2009 |
Физико-химические основы технологии электронных средств |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 92
