Физико-химические процессы в технологии

Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690

Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.

08.07.2014 | Физико-химические процессы в технологии | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 130