Эпитаксия - процесс наращивания слоев полупроводникового материала с упорядоченной кристаллической структурой на ориентированной пластине. Эпитаксию можно подразделить на три вида: авто-, гетеро- и хемоэпитаксию. Эпитаксиальные структуры со скрытым слоем.
03.01.2009 |
Технология изделий электронно-оптической техники |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 54
