Основные методы термического напыления: обычный резистивный нагрев испарителя, лазерный и электроннолучевой. Элементы системы вакуумного резистивного напыления. Решение проблемы нарушения стехиометрии тонкопленочного покрытия при резистивном испарении.
31.08.2013 |
Производство и технологии |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 78
