Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
12.06.2010 |
Оптическая литография |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 121
