Анализ универсальных вакуумных постов для оборудования производства изделий электронной техники

Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.

06.05.2014 | Технология литографических процессов | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 53