Анализ универсальных вакуумных постов для оборудования производства изделий электронной техники
Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.
06.05.2014 |
Технология литографических процессов |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 53