Технологический процесс сборки и регулировки ионного источника очистки
Ионный источник - устройство для получения направленных потоков (пучков) ионов. Типовые схемы ионно-лучевой обработки поверхностей и объектов в вакууме. Разработка технологического процесса сборки источника очистки ионного. Принцип работы устройства.
02.05.2013 |
Производственные технологии |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 85
