Проблемы, задачи и средства нанометрии. Меры малой длины и стандартные образцы нанорельефа поверхности. Концепция метрологического обеспечения нанометрии. Характеристика высокоразрешающих методов сканирующей зондовой микроскопии и лазерной дифрактометрии.
22.05.2012 |
Метрология, стандартизация и спецификация |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 91
