Технология изделий электронно-оптической техники

Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста

Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.

06.01.2009 | Технология изделий электронно-оптической техники | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 55