Распределение примесей при диффузии и неограниченного и ограниченного источников
Под диффузией из бесконечного (постоянного) источника понимают такое состояние системы, когда количество примеси, уходящее из приповерхностного слоя полупроводникового материала, восполняется равным количеством, поступающим извне. Локальная диффузия.
06.01.2009 |
Технология изделий электронно-оптической техники |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 42