Физическая электроника и энергетика

Разработка источников диффузионного легирования для производства кремниевых солнечных элементов

Источники примесей для диффузионного легирования кремния и технология диффузии примесей в кремний. Технология и оборудование для проведения процесса диффузии и контроля параметров диффузионных слоев. Использование разработанных источников диффузанта.

07.07.2003 | Физическая электроника и энергетика | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 192