Фоторезисты (ФР), виды, требования к ним, методы нанесения
Основные параметры фоторезистов - светочувствительность, разрешающая способность, кислотостойкость, адгезия к подложке и технологичность. Понятие светочувствительности. Светочувствительность негативных фоторезистов. Пороговая светочувствительность.
06.01.2009 |
Технология изделий электронно-оптической техники |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 60