Фоторезисты (ФР), виды, требования к ним, методы нанесения

Основные параметры фоторезистов - светочувствительность, разрешающая способность, кислотостойкость, адгезия к подложке и технологичность. Понятие светочувствительности. Светочувствительность негативных фоторезистов. Пороговая светочувствительность.

06.01.2009 | Технология изделий электронно-оптической техники | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 60