Исследование поверхностей и тонкослойных покрытий методом отражательной эллипсометрии
Эллипсометрический метод - один из самых точных и чувствительных методов контроля поверхностей и тонкослойных структур. Анализ изменения эллипса поляризации пучка поляризованного света при его отражении от исследуемого объекта. Описание установки.
31.10.2012 |
Компьютерное моделирование производственных процессов |
Производство и технологии |
Язык: русский |
Просмотры: 54