Исследование поверхностей и тонкослойных покрытий методом отражательной эллипсометрии

Эллипсометрический метод - один из самых точных и чувствительных методов контроля поверхностей и тонкослойных структур. Анализ изменения эллипса поляризации пучка поляризованного света при его отражении от исследуемого объекта. Описание установки.

31.10.2012 | Компьютерное моделирование производственных процессов | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 54