Технология тонких пленок

Исследование производительности работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллической мишенью

Получение тонкопленочных покрытий в вакууме, термическое и магнетронное испарение. Конструирование жидкофазного магнетрона с помощью AutoCAD. Методы исследования параметров тонких пленок. Измерение толщины тонкопленочных покрытий с помощью профилометра.

15.06.2012 | Технология тонких пленок | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 130