Основы вакуумной техники

Эксплуатация установки полунепрерывного действия "Оратория-5" и расчет времени откачки шлюза

Обзор современного оборудования для получения тонких пленок. Материалы и конструкции магнетронов для ионного распыления тонких пленок. Назначение, конструктивные элементы рабочей камеры установки "Оратория-5". Основные неисправности, методы их устранения.

24.03.2013 | Основы вакуумной техники | Производство и технологии | Язык: русский | Просмотры: 89