Исследование процессов 3D-структурирование в электронной литографии

Электронные резисты и их применение для 3D-структурирования. Исследование зависимости поглощенной дозы от способа экспонирования и плотности тока ("макс-эффект"). Совершенствование методов и процессов 3D-структурирования с помощью электронной литографии.

31.07.2012 | Программирование | Программирование, компьютеры и кибернетика | Язык: русский | Просмотры: 40