Исследование процессов 3D-структурирование в электронной литографии
Электронные резисты и их применение для 3D-структурирования. Исследование зависимости поглощенной дозы от способа экспонирования и плотности тока ("макс-эффект"). Совершенствование методов и процессов 3D-структурирования с помощью электронной литографии.
31.07.2012 |
Программирование |
Программирование, компьютеры и кибернетика |
Язык: русский |
Просмотры: 40
