Разработка и исследование методов компенсации динамической температурной погрешности интегральных тензопреобразователей

Основные этапы интеграции отдельных физико-конструктивных элементов преобразователей. Интегральные тензопреобразователи на основе гетероэпитаксиальных структур "кремний на сапфире". Параметры мостовых тензорезисторных преобразователей давления.

29.04.2015 | Автоматизация и управление | Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника | Язык: русский | Просмотры: 150