Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела
Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме. Очистка поверхности газовым травлением.
15.01.2009 |
Технология изделий электронно-оптической техники |
Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника |
Язык: русский |
Просмотры: 99
