Литография и контактная фотолитография. Позитивные и негативные фоторезисторы

Литографические процессы. Классификация методов литографии. Формирование рельефа изображения элементов. Контактная фотолитография. Последовательность выполнения операций при фотолитографии. Позитивные, негативные фоторезисты и режимы их обработки.

10.01.2009 | Технология изделий электронно-оптической техники | Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника | Язык: русский | Просмотры: 71