Этапы процесса термического напыления в вакууме. Резистивное термическое испарение в вакууме. Конденсация паров на подложке и образование пленочной структуры. Испарители с косвенным резистивным нагревом. Обеспечение равномерности толщины пленки.
14.06.2011 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 123
