Методи отримання плівкових матеріалів електронної техніки
Характеристика методів отримання плівкових матеріалів, заснованих на фізичному випаровуванні: від історично перших методів термічного випаровування до сучасних іонно-плазмових, молекулярно-променевих та лазерних методів осадження. Рідкофазна епітаксія.
17.05.2012 |
Фізика |
Физика и энергетика |
Язык: украинский |
Просмотры: 103
