Квантовая физика

Типы, характеристики и методы формирования регулярных поверхностных микро- и наноструктур

Основные закономерности развития и особенности формирования регулярных поверхностных микро- и наноструктур. Анализ получения регулярных поверхностных и пористых микро- и наноструктур с использование методов объемной микрообработки и фотолитографии.

08.10.2015 | Квантовая физика | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 126