Распределение примесей в процессе выращивания мультикристаллического кремния
Расчёт компоновки загрузки из полупроводникового и металлургического кремния для выращивания мультикремния. Количественный химический анализ слитков мультикремния. Анализ профилей распределения примесей в слитках в приближении перемешивания расплава.
08.06.2017 |
Физика конденсированного состояния |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 41