Распределение примесей в процессе выращивания мультикристаллического кремния

Расчёт компоновки загрузки из полупроводникового и металлургического кремния для выращивания мультикремния. Количественный химический анализ слитков мультикремния. Анализ профилей распределения примесей в слитках в приближении перемешивания расплава.

08.06.2017 | Физика конденсированного состояния | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 41