Столкновительный характер движения атомных частиц в газе. Ионная бомбардировка мишени. Особенности ионного распыления в присутствии реакционного газа. Вакуумное технологическое оборудование. Перспективы магнетронного распыления и его дальнейшее развитие.
21.03.2015 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 94
