Метод неразрушающего контроля состояния поверхности полупроводниковых пластин, параметров тонких поверхностных слоёв и границ раздела между ними. Методика измерений на эллипсометре компенсационного типа. Применение эллипсометрических методов контроля.
15.01.2009 |
Оптика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 100
