Атомна та ближньопольва оптична нанолітографія. Векторний та растровий способи переміщення. Проекційна електронно-променева літографія. Технічні характеристики чіпа. Система із зменшенням зображення. Проблеми і перспективи ультрафіолетової нанолітографії.
26.02.2015 |
Фізика |
Физика и энергетика |
Язык: украинский |
Просмотры: 99
