Струйный плазмохимический метод формирования пленок аморфного кремния
Производство солнечных модулей, полученных струйным плазмохимическим методом. Разработка модели разложения силана в плазме высокочастотного газового разряда. Влияние метастабильного состояния атома аргона на кинетику электронного газа алюминиевой плазмы.
02.02.2018 |
Энергетика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 89
