Сущность технологических приемов химического травления и контроля качества поверхности пластин кремния. Особенности термического вакуумного напыления алюминия на полупроводниковую подложку. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов.
13.06.2013 |
Процессы микро- и нанотехнологии |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 72
