Микромеханические приборы

Характеристики микромеханических реле на основе тонких слоистых исполнительных элементов

Принцип действия, конструкция и технология изготовления микромеханических реле. Методы получения гальванических покрытий. Состав электролитов никелирования, меднения и золочения. Характеристики исполнительных элементов для применения в устройствах МСТ.

17.06.2012 | Микромеханические приборы | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 109