Фізико–технологічні основи фотолітографії

Вивчення фізичних властивостей галогеносрібних та несрібних фотоматеріалів. Розгляд будови діазоплівки. Характеристика методів ("подвійний", "вибуховий" та негативно-позитивний, з підшаром), причин та способів усунення порушень якості фотолітографії.

12.04.2010 | Фізика | Физика и энергетика | Язык: украинский | Просмотры: 84