Общее понятие и особенности ионной имплантации. Структура и свойства имплантированных слоев. Физические основы метода. Влияние энергии ионов на процессы энергообмена при их столкновении с атомами мишени. Преимущества процесса ионной имплантации.
19.01.2011 |
Физика и энергетика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 85
