Изучение свойств карбида кремния. Понятие омического контакта. Разработка и оптимизация технологии воспроизводимого получения омических контактов к карбиду кремния n- и р-типа проводимости на основе выявления факторов, влияющих на его формирование.
10.05.2014 |
Технология полупроводниковых приборов |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 87
