Физика поверхности и микроэлектроника

Достижения современной планарной технологии и значение в них физики поверхностей. Трехслойная система как базовая структура микроэлектроники. Влияние поверхности на работу полупроводниковых приборов: оптоэлектронные приборы, сверхпроводящие пленки.

17.05.2009 | Физика | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 162