Расчет профиля диффузии сурьмы в кремнии, определение основных параметров этого процесса. Использование феноменологической модели диффузии. Влияние параметров на глубину залегания примеси. Численное решение уравнения диффузии по неявной разностной схеме.
28.08.2010 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 73
