Исследование направлений использования метода ионного легирования углеродных наноструктур. Характеристика ионной имплантации и её применения в технологии СБИС. Расчет профиля распределения примеси при ионной имплантации бора различных энергий в кремний.
18.05.2011 |
Увлекательное |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 144
