Магнетронные распылительные системы

Оптическое управление расходом реактивного газа в процессах магнетронного нанесения покрытий

Осаждение пленочных покрытий сложного химического состава (оксидов, нитридов, металлов). Проблема магнетронного осаждения. Исследование влияние нестабильности мощности и давления магнетронного разряда на процесс осаждения пленок, результаты экспериментов.

19.05.2013 | Магнетронные распылительные системы | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 103