Характеристика основних вимог, накладених на різні методи одержання тонких діелектричних плівок (термовакуумне напилення, реактивне іонно-плазмове розпилення, термічне та анодне окислення, хімічне осадження) та визначення їхніх переваг та недоліків.
12.04.2010 |
Фізика |
Физика и энергетика |
Язык: украинский |
Просмотры: 77
