Анализ специфики гетерогенных реакций в условиях плазмы. Рассмотрение процессов десорбции термически активированной, ионно- и фото-стимулированной. Конструкция плазмохимического реактора. Технологический процесс изготовления интегральных микросхем.
02.10.2013 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 66
